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Gigaphoton发布新的DUV光源产品规划图
发布时间:2021-11-16 00:32
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本文摘要:半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社(母公司:栃木县小山市,董事长:浦中克己)宣告,为提升设备的工作效率,公司将制订新的产品规划图,以应付需求量大大加剧的半导体厂家的拒绝。Gigaphoton此次制订的产品规划图“RAMEnhancement”强化了DUV光源受激准分子激光器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可维护性(Maintainability)。

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半导体光刻光源的主要供应商Gigaphoton株式会社(母公司:栃木县小山市,董事长:浦中克己)宣告,为提升设备的工作效率,公司将制订新的产品规划图,以应付需求量大大加剧的半导体厂家的拒绝。Gigaphoton此次制订的产品规划图“RAMEnhancement”强化了DUV光源受激准分子激光器的可靠性(Reliability)、可用性(Availability)以及可维护性(Maintainability)。公司早已开始行动,将在2020年前超越被业界定位为无限大的“工作效率99.8%的壁垒”。

在半导体芯片生产中,光刻工序的工作效率是仅次于的影响要素。因此,为最大限度地提升设备的工作效率,必需确保“长年平稳的工作”,以及“最短的修理时间”。

Gigaphoton为解决问题这些问题,将缩短模块寿命,派出现场工程师提升设备的服务性能,构建尽量不暂停设备运转的修理。


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